二手 ASML AT-850C #9235474 待售
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ASML AT-850C是為半導體工業設計的晶圓步進器。這種裝置通常用於高精度光刻等應用中，以制造半導體芯片。ASML AT850C的設計采用了一種非相幹照明設備，該設備采用了與所需圖樣相對應的鏡頭配置。該系統由自動對準單元、高分辨率成像光學器件、精確多區級、專用晶圓座組成。AT:850C的自動對齊單元允許對設備的陣列進行實時對齊驗證。這是通過檢測各種參數來完成的，如位置偏移、旋轉偏移、失真和強度。此外,ASML AT 850 C能夠同時處理多達8種獨立模式,同時保持高精度和吞吐量。AT-850C的高分辨率成像光學器件能夠對所需的圖樣進行非常精確的成像。鏡頭配置保持高精度，可針對變化的情況快速調整。這種特性允許機動性和較低的光刻余量，從而產生更高的產量。AT 850 C晶片級提供x, y分辨率高達0.1micron, z分辨率降至25nm。這個高度精確的階段允許在每個區域中有一個小的但已解析的成像區域。這也允許整體小型化的單元組件。另外，晶片級擁有一個大、平、光滑的表，用於晶片的精確運動。ASML AT:850C還配備了晶片支架，可快速方便地交換不同的晶片尺寸。該晶片支架提供了一個安全的制表機，以準確地推進晶片通過生產過程。此外,該裝置還集成了傾斜和傾斜校正角度底座.傾斜底座操作精度為1弧秒，以提高工藝效率。總體而言,AT 850C是一種多用途的晶片步進器,具有精確的光學和分級能力.該器件為生產性價比高的半導體芯片提供了高精度環境。ASML AT 850C配備了現代化的設計工具和功能，使其適合各種光刻應用。
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