二手 ASML AT-850C #9256715 待售
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ASML AT-850C是ASML先進的基於步進的光刻設備。它具有掃描曝光系統（SES）,能夠以高分辨率快速準確地掃描大字段。ASML AT850C用於生產用於消費電子產品的小型電路如VLSI、半導體和集成電路。該單元的核心是ASML專有的LTS 800 Scanning Exposure Machine,其設計目的是提供精確度和靈活性。該工具提供了改進的成像性能、提高的速度、改進的圖像場大小和改進的圖像質量。SES具有12英寸的掃描字段,最大分辨率為65nm,動態範圍為16位。曝光控制資產（ECS）的設計符合將多個光刻層合並到同一曝光中的最高操作標準。AT:850C提供了一個先進的自適應對準模型，以加強曝光的準確性。該設備能夠保持0.5 μ m的亞像素精度,並能夠補償振動、傾角和不均勻薄膜厚度引起的變形。此外,Auto Exposure Analyzer （AEA）位於系統中,可提供詳細的對齊信息,如字段大小、曝光級別、鏡頭大小和邊緣位置。這是除了簽名波形監測，以確保長期的過程穩定。AT850C還配備了幾個環境傳感器，旨在保護設備免受可能幹擾成像過程的塵埃顆粒的影響。這些傳感器包括溫度傳感器、高電流監視器和濕度監視器。這樣可以確保機器正確地被汙垢和汙染物密封,並允許機器在清潔的環境中運行。該機還包括一個先進的冷卻工具，以確保可靠性和壽命。這是通過在資產內循環冷卻的液體和空氣，增強曝光模型的性能，消除操作過程中散熱來實現的。總之，AT 850C是一種設計用於生產高端集成電路的高度先進的晶圓步進器。它具有掃描曝光設備（SES）和用於精確成像過程的曝光控制系統（ECS）。它還帶有一個自適應對準單元和一個簽名波形監控器，以保持高精度和長期的過程穩定性。最後，該機包含一個防塵工具和冷卻資產的最佳和可靠的操作。
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