二手 ASML AT-850C #9256716 待售
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ASML AT-850C是半導體制造過程中使用的晶圓步進器。它是一種高通量、高精度的光學光刻設備，設計用於快速將晶片暴露於預定義的圖樣中。在芯片制造過程中，ASML AT850C可用於曝光小至5納米的圖案。該系統由控制臺和曝光點室兩部分組成。控制臺包含陣列源（例如,MEMS設備）、光源、光學器件以及控制設備所需的相關電子設備。POE腔室包含所有可移動元件-將晶片放置在適當位置的級、用於移動級的電動機組件以及用於固定晶片的卡盤。AT:850C的光學元件由幾個高精度元件組成，如準直器、掩模對準器、投影鏡頭和掃描儀。準直器將光引導到將圖樣固定在適當位置的掩模對齊器上。然後投影透鏡在投影到晶圓上之前放大圖樣。掃描儀用於將晶片移動到適當位置以捕獲圖樣。ASML AT 850 C還具有若幹高級功能,可提高準確性和吞吐量。它利用雙頭晶體掃描機，以更高的分辨率和更快的掃描速度。該工具還具有使用激光測量模型來精確定位標線和晶圓相對於彼此的對準資產。ASML AT:850C還包括許多其他功能,以確保精度和可靠性,包括自動聚焦功能和邊緣檢測設備,以便在晶圓對齊時向系統提供反饋。該單元還包括一個對準監視器,以確保準確的掩碼對準。此外，AT 850C能夠將晶片精確定位至1微米，並能處理直徑達400mm的晶片，幾乎沒有或沒有失真。該機器能夠對小幾何形狀進行極其精確的曝光，並能達到不到1納米的分辨率。總之，ASML AT 850C是一種適合半導體制造工藝要求的高精度、高通量晶片步進器。它的高級功能確保了各種幾何形狀和分辨率的精確、可重復的曝光。該工具的雙頭晶體掃描資產、對準模型和自動對焦功能始終提供可靠、準確的曝光。
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