二手 ASML AT-850C #9269680 待售
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ID: 9269680
Stepper, 12"
SMIF
SECE I / II
Reticle size: 6"
Wafer type: Notch
Left inline flow
FOUP Left type: WH
MK V Type: RH Library
PPD Type: PPD2 + IRL
BMU Type: Standard
Light source: CYMER
Scan speed: 320 mm/sec
Chuck
2004 vintage.
ASML AT-850C是一種先進的晶片步進器，旨在準確、精確地定義半導體工業最新一代半導體晶片的微觀模式。通過將光投射到沈積在晶圓上的光刻膠薄層上，可以創建構成集成電路中使用的矽酸鹽元件基礎的精確圖樣。ASML AT850C是一種全自動掃描儀，它以一次旋轉的方式掃描整個晶片場，允許圖像一次投影到晶片的整個表面積上。這允許高效和一致的光刻。該系統具有350 mm的舞臺尺寸，允許將多個不同的晶片一次放置在舞臺上，從而實現多次處理運行。AT:850C已設計為具有更高吞吐量實例的高級功能。這包括一個集成的、健壯的Litho Inspector,它可以在生產運行期間監視圖樣、缺陷和其他平版印刷問題。晶片步進器具有先進的階段，即使是最小的特征也能提供超強的對齊控制。這些階段還可以以兩種不同的旋轉速度執行進程，從而使用戶能夠更好地控制多個進程。ASML AT 850C還采用了多種照明方法,包括激光直接成像（LDI）和光刻成像（PI）。利用這兩種成像方法中的任何一種，都可以通過將晶圓的不同區域暴露在不同程度的光輻射下來創建高分辨率圖像。微小到0.35微米的特性可以被解析，允許AT 850 C產生高度錯綜復雜和細膩的矽元件。ASML AT 850 C還具有先進的同步和異步運動控制和動力學功能，可實現極快的掃描速度和重復性。該系統基於模塊化平臺，意味著它可以針對特定的應用程序和流程進行定制，為用戶提供了完全的靈活性。最後,AT850C是一個極其堅固、堅固、可靠的步進器,它不斷地進行嚴格的質量保證測試,以確保它始終以最高性能運行。憑借其先進的特性和生產能力，它是當今市場上技術最先進的晶圓步進器之一。
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