二手 ASML AT-850C #9281763 待售

ASML AT-850C是一種高性能晶圓步進器，旨在生產具有非常精細特征尺寸的半導體器件。它能夠進行層對層打印曝光，最終分辨率為µm，相當於0.25微米。ASML AT850C利用先進的光刻設備來制作非常精細的圖樣，使其成為半導體制造的理想選擇。該系統能夠在4軸步長和掃描模式下運行,從而提高了吞吐量和吞吐量,同時降低了噪聲級別。該單元由光源、光學元件、投影鏡頭和基於掃描儀的舞臺組成。光源是峰值強度為20萬勒克斯的高能氙燈，能夠提供高達35萬勒克斯的總強度範圍。可以調整光的偏振以獲得最佳的圖樣。光學元件包括經過校準的反射器、濾鏡和為最佳圖像質量而設計的光學元件。此外,還集成了飛回攝像機,以自主和連續地監視失調、對比度、曝光和濾鏡狀態等。使用專用的傳輸幀移鏡像工具來校正晶圓失真。投影透鏡是一種定制的消色差透鏡，最大NA為0.65，光圈為10-15mm，提供了光能向晶圓高度均勻高效的傳遞。投影儀鏡頭具有高精度光學器件，確保光照功率一致。基於掃描儀的AT:850C級包括一個先進的閉環伺服資產,用於在快速掃描軸上移動掩模和晶片,跟蹤掩模和晶片溫度,以及監視掩模和晶片振動。采用專門設計的高精度XY表,在X軸和Y軸上分級掩模和晶片,精度為10 µm。ASML AT 850C旨在支持半導體行業所要求的最先進的光刻工藝。它將高吞吐量和精確度與最大生產率相結合,為高端設備制造商帶來了最大的工藝效率。