二手 ASML AT-850C #9293663 待售

ASML AT-850C是一種最先進的晶片步進器,旨在支持193 nm步進器應用程序。它旨在產生非常精確、有效和一致的光刻結果。ASML AT850C設計用於廣泛的應用,如EUV業務應用、掩模制造行業和光刻應用。AT:850C晶片步進器設計的最小數值孔徑為0.76，最大全數值孔徑為0.80，以實現光刻。其基於交替偏振衍射光學元素的照明設備使偏振相關照明與偏振照明具有一致的模式保真度。步進器還配備了高度先進、精確的定位機構，設計用於將晶片與光學元件對準，精度為1微米，以實現精確的步進器對準和對焦性能。ASML AT 850C由一個混合磁性和線性直驅掃描系統提供動力，該系統旨在消除掃描單元中的滯後現象。它還支持快速掃描速度，並具有恒定的加速度和減速，以確保在樣品上不斷清晰的成像結果。它采用高性能共振子系統,旨在減少有害振動並提供穩定的成像結果。晶片步進器支持多種功能,包括高精度雙軌掩模對準器、增強的四象限場重叠選項以提供更好的成像效果、增強的多軌自動對焦校準、改進的光學機翼、自動步進器清潔檢查以及改進的照明穩定性。步進器還包括一個設計用於對齊多次曝光以提高精度的羽化對齊函數，以及一個算法啟用的自平整特征以避免錯位。最後，AT850C配備了眼睛安全的閉環激光器，通過不斷監測激光束來確保安全。此外，步進器還包括對比度檢測等定制視覺系統，額外的創意照明模式，以及增強的照明對稱選項。總體而言,ASML AT:850C是一種高度先進和復雜的晶片步進器,旨在為各種應用提供一致、精確和精確的光刻結果。