二手 ASML AT-850C #9404356 待售

ASML AT-850C是一種用於制造半導體器件的步進器。它可以生產多種設備，例如集成電路和內存設備。ASML AT850C是一種具有大孔徑、高分辨率和高吞吐量的高級步進器。它是一種I線步進器，也可與KrF光刻一起使用。AT:850C結合了高度精確的鏡頭設計和先進的多軸對準設備,使用戶能夠實現高分辨率和精確的臨界尺寸（CD）對準設備制造。該機器還具有較長的聚焦深度（DOF）,允許以最小的傾斜誤差對設備的所有層進行成像。這使得ASML AT:850C適合生產高收益率的高性能設備。AT-850C是一種高溫真空步進器，它使用戶能夠在穩定的環境中操作機器，具有良好的過程控制，給用戶一致的成像性能。它還配備了高度均勻的光束管理系統，這是光刻性能和曝光精度所必需的。ASML AT 850C具有一個全面的軟件套件,可幫助用戶實現自動對齊和曝光以及數據管理。這使用戶能夠快速準確地適應不斷變化的晶圓環境,優化吞吐量和設備產量。機器還有一個多模式曝光單元，使吞吐量最大化，確保設備盡可能快速準確地曝光。AT 850C是一種強大的設備制造工具。其大孔徑、高分辨率和高通量使其成為生產高性能設備的理想選擇。其多軸對齊機和軟件套件為用戶提供了對設備曝光的詳細控制，確保了高設備產量和準確的設備圖像。