二手 ASML AT-850D #293597577 待售
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ASML AT-850D是一種用於光學光刻的4軸精密透鏡對準設備。它是一個全自動的深紫外線（DUV）157 nm浸入式光刻系統，設計用於生產集成電路（IC）產品。該單元旨在滿足領先半導體行業在提供最佳工藝控制和擁有成本方面的需求。這種步進器具有出色的吞吐量和性能,是生產石版畫家的寶貴功能。ASML AT850D具有許多提供最佳性能的功能。它配備了一個較大的工作區，使得晶圓對準和基板移動容易。它配備了提供高級模式識別和平版印刷操作的高級軟件套件。此外,步進重復功能允許快速復制圖案,從而大大加快了光刻過程。AT 850D有一個獨特的四軸機器，它是用一個精確的移動表與XY CCD計量工具耦合而成的。該XY CCD計量資產用於叠加測量和缺陷檢測.步進器具有高精度的鏡頭導航和對準，可以在不同的圖樣場之間精確移動坐標，而無需重新對準或重新燃燒晶圓。這一特性有助於提高晶圓均勻性，這在半導體制造過程中至關重要。AT-850D具有集成的真空負載鎖定模型,該模型提供晶圓傳輸機器人和步進器之間的自動化、安全的接口,並完全集成到ASML光刻工作流程中。它還具有高壓像差校正（HIPAC）設備，這有助於減少光學失真，即使在小特性上也能實現高精度圖樣。ASML AT 850D還提供了多種多樣的過程適應和控制選項,這要歸功於它的軟件程序套件。例如，它具有先進的平版印刷模擬功能，因此工藝工程師可以模擬曝光以確定最佳設置。它還允許步進器和關聯的流程工具之間的實時數據共享。總體而言,AT 850 D是一種可靠且高性能的晶圓步進器,可實現用於IC制造的頂級光刻。它的許多特點使光刻能夠快速、安全、準確地進行生產和管理。由於這些原因，以及更多原因，ASML AT 850 D是半導體工業中廣受信任的光刻機器。
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