二手 ASML AT-850D #293822110 待售

ASML AT-850D是一種先進的晶圓步進器,可滿足最新晶圓生產要求。這種光刻設備為各種晶片基板提供高精度的光學對準和成像能力，其中包括矽、砷、石英、多晶金剛石等。ASML AT850D能夠產生小至0.25微米的特性,並且可以容納6英寸大小的晶片。這套系統配備了高分辨率AMT（有源鏡像技術）輪廓監視器、數值孔徑為0.55的特殊步進鏡頭以及包括數字內存控制器和微處理器在內的相應驅動技術。它還配備了獨特的「掃描與匹配」功能，在0.25至20微米的光束範圍內自動優化聚焦和曝光。AT 850D具有完全自動化的3軸光對準裝置，能夠精確放置設備和聚焦精度。該機還具有先進的用戶界面，允許簡單直觀的操作。此外，AT 850 D為步進室提供了先進的溫度控制和監控，允許延長運行時更好的聚焦穩定性。ASML AT 850 D晶片步進器是先進光刻應用如半導體器件、光子學、數據存儲等的理想解決方案。此工具提供卓越的圖像質量、準確可靠的處理功能,以及可根據您的特定需求定制的高級自動化功能。通過AT-850D,您可以以較低的擁有成本實現高保真度結果。