二手 ASML AT-850D #9269679 待售

ASML AT-850D
製造商
ASML
模型
AT-850D
ID: 9269679
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Stepper, 12" SMIF SECE Reticle size: 6" Wafer type: Notch Left inline flow FOUP Left type MK V Type: RH Library BMU Type: Standard Light source: CYMER ELS-7600 Stage: Scan speed: 320 mm/sec Pin chuck 2004 vintage.
ASML AT-850D是為生產半導體器件而設計的晶圓步進器。在實現高分辨率過程和準確性方面,此高級工具提供了卓越的性能。該機器尺寸緊湊,能夠處理直徑達8英寸的晶片,分辨率高達5 µm。它配備了不是一個而是兩個先進的光刻系統,配備了高精度鏡頭和一個基於激光的自動對焦設備。ASML AT850D憑借其先進的模式放置系統,能夠獲得優異的成像和陣列效果。該裝置集先進的遮罩對準器、光學對準、自動邊緣檢測和先進的照明技術於一體,提供卓越的圖像質量和準確性。該機還配備了高性能CCD攝像頭,設計用於快速、準確檢測缺陷和自動放置圖樣。此外,該機器能夠進行多種模式識別模擬,從而能夠在單個晶片上高效生產幾個不同的層。在安全方面,AT 850D通過其符合安全要求的自動測量工具和氣壓控制提供安全操作。它還具有先進的電機設計和靈敏的過載保護功能,可防止步進器出現不安全的工作條件。除了這些特點外,該機還配有各種配件,如內部檢驗裝置、鏡片清洗站、晶片裝載機/卸載機、冷卻器資產、輸送機型號等等。這樣可以確保晶片步進器的有效和安全操作。總之,ASML AT 850D是尋求高分辨率生產半導體器件的理想晶片步進器。它配備了先進的光刻和成像技術,透徹的安全特性,以及提供卓越效果的多種配件。
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