二手 ASML AT 850T #9293665 待售

ASML AT 850T是一種晶圓步進器，用於半導體集成電路的制造。它是一種將所需的圖樣曝光在塗有光刻材料的晶片上的設備。這樣可以精確地制造集成電路。AT 850T是一種先進的步進器，使用投影類型的成像設備操作。它會從主光掩模中啟動曝光,並在基板上生成必要的圖像。它使用光學投影系統在基板上創建所需圖案的圖像。步進器的分辨率為0.33微米，可用於生產先進且非常復雜的集成電路。該單元還設計用於生產曝光面積最大8英寸的超大型晶片。ASML AT 850T具有多種功能和選項,可輕松自定義曝光過程。例如,它有一個基板偏置設置選項,允許用戶調整電壓設置以確保所需的模式印在基板上。步進器還包含一臺對齊機，使掩蔽過程與所需的模式完美對齊，以確保準確的結果。步進器還具有針對每一層編程最佳曝光劑量的功能。步進器還配備了激光幹涉儀工具，可以在原始圖像和投影圖像之間進行精確的光學對準，並減少誤差和像差的可能性。步進器還包含一個自我診斷資產，該資產自動檢查步進器的功能，以確保平穩運行。總體而言，AT 850T是一種非常先進的晶圓步進器，為集成電路的生產提供了優異的效果。其廣泛的特性和選項使步進成為小型企業和大規模生產的理想選擇。它是生產半導體集成電路的行業標準，在工業上用於大批量生產。