二手 ASML AT400S #293621264 待售

ASML AT400S Wafer Stepper是一種光刻工具，用於制作圖樣並將其轉移到半導體基板上。這種步進器有許多特點，使其成為光刻過程的重要組成部分。AT400S具有可調的光斑尺寸,可實現高分辨率成像並提高覆蓋精度。機器的步進重復能力允許在同一晶圓上進行多次曝光，從而能夠同時產生多種不同的設計。ASML AT400S還配備了自動晶片對準設備,可以將晶片更精確地放置到步進器上,從而使基板的陣列更加精確。此外,步進器能夠高速曝光,周期時間小於5分鐘,從而為操作員提供快速周轉時間。在安全方面，AT400S設計有一個封閉的對準和接觸區域，進一步提高用戶的安全，並保護機器免受微粒汙染。機器還具有疏散功能，可以將光刻過程中產生的任何顆粒或汙染物拉走，並通過機械裝置將其扔掉。ASML AT400S成像系統由光學透鏡組合和「白光」光源兩部分組成。這種組合允許清晰的圖樣圖像，分辨率高達0.05微米，數值孔徑為0.75。「白光」光源是AT400S特有的強大光源，確保圖像盡可能清晰、精確，進一步提高了光刻工藝的效率和準確性。ASML AT400S也是最先進可靠的光刻工具之一。該機器有一個用於監測和控制曝光過程的內置測量單元，以及一個激光晶片定心機，允許晶片在基板上自動定心。有了這些能力，AT400S有潛力提供極其精確的圖案，從而大大提高了光刻工藝的性能和精度。總體而言，ASML AT400S晶圓步進器是制作和轉移圖樣到基板上的理想工具。其可調的光斑尺寸、自動化晶片對準工具和高速曝光能力為用戶提供了一系列不同光刻工藝的選項，使其成為光刻工藝的重要組成部分。