二手 ASML AT400S #293625709 待售

ASML AT400S是用於光刻的先進、最先進的晶圓步進器,用於陣列集成電路。它是在半導體晶圓上創建亞微米結構的一種專門、高度精確的工具。它使用近紫外線、可見光或紅外光和遮罩將圖案傳遞到表面。AT400S具有700毫米、300毫米的場大小和先進的Theta定位階段。該設備的分辨率為5-6nm線性和12nm旋轉精度。它具有0.55的數值孔徑，使其能夠在公差非常嚴格的高分辨率IC上工作。ASML AT400S具有廣泛的自動化功能,包括圖像識別、運動控制系統和自動批處理。它還具有存儲和召回配方的能力，使模式設計者能夠快速設置和運行系統。AT400S非常用戶友好,具有圖形化的用戶界面和直觀的控制。它有一個內置的跟蹤和對準單元，通過跟蹤每個曝光周期的模式設置和對準參數，自動保持對準精度。這允許可重復和可預測的結果。ASML AT400S配備了晶片掃描機，允許掃描整個晶片的缺陷。此工具能夠檢測和拒絕有缺陷的部分,提高產量並節省時間。AT400S的生產能力是無與倫比的，資產能夠以每小時6萬臺的速度運行。這使制造商能夠提高生產效率、降低成本和提高產品質量。總體而言,ASML AT400S是一種精密、精密的晶圓步進器,旨在創建具有高度精確模式和極緊公差的集成電路。此模型采用了許多自動化功能、直觀控制和生產速度,這在業界是無與倫比的。