二手 ASML AT400S #293638713 待售
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ID: 293638713
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
i-Line scanner, 12", parts system
Wavelength: 365 nm
(2) XCWC
Racks:
MCWC
LCWC
MDC
AA LMA
Airmount
AA
CT
MO
MI
IPDR
RH
PFU
RS
WS
MO
MI
WH
RS Balance mass
RS Long stoke-Y
WS Short stroke-Z
RS Short stroke-XZ
WS E-side long stroke
WS Balance mass
WS Short stroke horizontal
Bottom module
2001 vintage.
ASML AT400S Wafer Stepper是一種用於將圖樣傳輸到半導體晶圓上的設備。它是一種高度精確的工具，能夠將照片掩模上的電路精確圖案化到晶圓上。AT400S晶片步進器由級、光頭和系統控制器組成。該級具有沿x軸和y軸移動晶片的能力，精度高達0.25微米。另外，舞臺有內置的加熱元件和熱板，可以調節晶圓的溫度。這保證了優質產品的生產。光學頭包含將光束從掩模對準晶片的還原透鏡系統。它利用Rh型的掩模來產生蝕刻晶片的光。光束精確地對準晶片的表面，使圖樣被精確地傳遞而不會失真。系統控制器是機器的核心。它負責監視和控制機器的各個部分（包括舞臺、光頭、光束的強度和焦點以及曝光時間）。它還存儲每個電路的必要參數，使機器能夠精確地對每個晶片進行制圖。ASML AT400S Wafer Stepper專門設計用於提供將圖樣傳輸到晶片的最高精度和精確度。它是一種可靠且易於使用的工具,可最大程度地降低出錯的風險,並可保證達到最高標準的成品。
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