二手 ASML AT760D #9298747 待售

ASML AT760D晶圓步進器是一種用於半導體制造的最先進的機器。它設計用於在有限的空間內移動半導體晶片，以便在「步進」和「掃描」階段將晶片精確對準並暴露於紫外線光源產生的光。AT760D可以處理各種晶圓直徑（150、200和300毫米）,並配備各種功能,使其能夠有機和自動執行大部分步進操作。步進器可用於深紫外線（DUV）、極紫外線（EUV）和極紫外線納米光刻（Nano-EUL）等多種光刻應用。此外,ASML AT760D能夠處理多層標線,因此非常適合多陣列應用程序。AT760D采用獨特的閉環掃描儀位置控制設備,以確保準確放置模式。該系統利用超高精度線性刻度精確測量實時晶圓運動和位置。此外，該裝置減少了廢物生產，因為它最大限度地減少了模式登記錯誤和重叠。ASML AT760D旨在通過其先進的叠加步進機來優化模式放置。晶片在舞臺上移動時，實時跟蹤其位置，動態補償其運動，以確保精確的圖樣放置。這樣可最小化步進操作時間並提高吞吐量速率。AT760D是為最大刀具吞吐量和性能而設計的。利用多相鄰晶片級的優化真空進料設備，縮短了對準時間，提高了放置精度。此外，步進器高度可靠的運動控制系統確保了良好的批對批精度和晶片對晶片的一致性。ASML AT760D還支持各種滿足生產要求的選項,例如空氣磨料和熱退火能力。此外，步進器還配備了先進的真空模型，以實現精確的轉移和減少粒子產生。除了先進的特點外，AT760D還增強了防塵結構、改進的密封和防靜電設計等環境特點。這些功能確保步進器高效可靠地運行,並符合安全法規和標準。總體而言,ASML AT760D晶片步進器是一種先進可靠的光刻應用機器.憑借其精確的閉環掃描設備、優化的進料系統、增強的選項和環境特性，它一定能滿足最苛刻的半導體生產需求。