二手 ASML C-QUAD #9070539 待售

ASML C-QUAD是一種用於半導體光刻的晶圓步進器。它是整個半導體制造行業使用的關鍵工具，因為它使半導體芯片能夠以極好的分辨率進行陣列設計。C-QUAD具有先進的光學技術、固件和軟件,以及一套專門的可自定義組件。ASML C-QUAD可以使用步進對準設備（SAS）以極高的精度暴露光刻膠層。步進對準系統將標線和晶圓之間的模式對準位點（稱為基準位點）進行對比,以確保每次曝光時都精確對準。此外,先進的光學設計可確保每次曝光的成像質量保持較高水平。在晶片步進器本身內，包含了許多關鍵元件。包括激光幹涉儀單元，以保持定位精度，步進硬件有傳感器檢測運動和溫度的操作條件。C-QUAD還擁有大容量的自動對焦機和優化的標線庫。標線庫存儲用於曝光的計劃模式的高分辨率信息。ASML C-QUAD能夠在許多標線之間存儲和切換,從而使不同的模式能夠暴露出來,而不必更換標線。為確保最佳性能,C-QUAD包括專用軟件。許多協議用於確保整個步進器的精確操作。這些協議的範圍從數據訪問到曝光前校準和對齊。此外,軟件還包括通信協議,以確保與標線庫和其他外部數據源的數據同步。ASML C-QUAD的高級功能使其成為許多半導體制造設施的理想選擇。這是一個可靠的解決方案，以非常精細的分辨率生產高質量的半導體芯片。C-QUAD擁有廣泛的可自定義組件以及先進的軟件和硬件,可提供卓越的準確性和性能。