二手 ASML FLOW SUB B/D #9292389 待售

ASML Flow Sub B/D是一種晶圓調平器設備，設計用於提供晶圓帶路徑長度和晶圓平坦度的實時控制。它能夠精確測量、調整和補償晶片帶幾何形狀和表面質量的變化。該系統具有精密的機械和電子控制單元，在晶片帶幾何形狀和平坦度的分辨率方面提供最高精度和可重復性。該機采用先進的雙平面掃描工具，以確保最佳路徑長度和平坦度測量。一個平面專用於晶圓的整個表面的概述，而另一個平面專用於表面的深入。概述掃描使用戶能夠檢測和測量整個晶圓表面以及深層特征中的大不規則性。通過這一過程，用戶能夠檢測和測量晶片上的各種電氣和/或光學特性。深入掃描提供了更詳細的小尺度特征測量，讓用戶更好地了解晶圓的表面。資產包括一個4軸運動模型,它能夠處理直徑不超過300 mm的大型晶圓。設備還包括4臺線性伺服電動機，以確保晶圓的精確、平穩的運動控制。此外,系統還包括一個9軸運動控制單元,其設計目的是使磁帶路徑與晶圓磁帶的精確幾何形狀精確對齊。為確保機器的最高精度,Flow Sub B/D包括許多先進的光學對準傳感器和激光投影儀。這樣可確保刀具公差保持在高精度範圍內。它還允許用戶在長時間的生產運行和預測性維護要求期間跟蹤晶圓磁帶性能。資產還包括提供晶圓面部識別和定向配準的磁性編碼器模型。這種人臉識別設備使系統能夠準確確定晶片的方向，並確保晶片帶正確對齊。Flow Sub B/D設計為晶圓調平器的高效、可靠、準確的工具。ASML Flow Sub B/D具有先進的特性和精確的控制單元,能夠精確測量、調整和補償晶圓帶幾何形狀和平坦度的變化。