二手 ASML LISAP 3P #9292410 待售

ASML LISAP 3P是用於半導體工業光刻應用的下一代晶圓步進器。該機采用精密的三板結構，高效、高效、精確地進行半導體晶片層的增量運動和對準。晶圓步進器的主要部件是主機架、驅動設備、同步電機、幹擾機、光學系統、真空單元等外圍部件。主框架的設計保證了晶圓步進器的平穩穩定的運動和運行。這是通過超輕型剛性結構完成的，該結構包括一個內部外殼、一個支撐板和一個外墻。驅動機器包含嵌入式驅動馬達，可提供步進器平滑精確的增量運動。電動機由可編程電動機驅動，能夠以極高的精度精確控制電動機的速度。光學工具采用光束成形技術，確保步進器運動的最高分辨率和精度。這項資產由多層光學技術、微光刻技術和精確校準組合而成，所有這些都共同努力，確保晶圓的完美激光對準和精確定位。真空模型用於在步進器運行時保持安全的環境，提供平穩清潔的工作環境。步進器具有各種高級功能,使其具有高度可定制性。操作員的控制臺配有觸摸屏和按鈕，可以直觀的方式對步進器進行編程和操作。可以編程為執行多個不同類型的光刻工藝步驟，並會根據工藝要求自動調整參數。此外，機器還可以與其他掃描儀和其他專用設備如模式發生器和光學計量系統集成。LISAP 3P是一款高度可靠、堅固的機器，專為滿足半導體行業苛刻而精確的生產需求而設計。其先進的功能結合起來，提供高效、精確的晶圓定位能力，允許精確和可重復的生產周期。