二手 ASML NXT 1950i #9293666 待售

ASML NXT 1950i
製造商
ASML
模型
NXT 1950i
ID: 9293666
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Lithography system, 12" 2012 vintage.
ASML NXT 1950i是一種晶圓步進器,設計用於在晶圓基板上生產存儲芯片。該機利用先進的多區域照明設備,將光源精確投射到晶片上。這樣可以改進陣列處理過程中的曝光控制。獨特的照明系統與專有的步進重復技術相結合,突破了特征分辨率、位置精度和吞吐量的界限,使NXT 1950i在市場上與眾不同。該機占地面積小,模塊化設計,設置維護簡單。它不需要許多競爭機器的大量開銷,從而降低了成本並簡化了工作流程。該單元提供了許多軟件功能,如模擬和圖形用戶界面(GUI)工具,以最大限度地提高工作效率。它還配備了直觀的自動對齊機,無需手動操作監督。ASML NXT 1950i具有先進的光學工具,能夠產生極高的分辨率模式和高吞吐量。其卓越的精度是通過最新的投影光學和獨特的雙圖像資產實現的。此外,這臺機器還配備了先進的X-Y掃描系統,允許精確和可重復的對準曝光,從而帶來卓越的聚焦和性能。NXT 1950i還擁有一套自動調平技術,可確保整個生產周期的最大吞吐量和準確性。機器內的自動校正機制,以及專有的實時監視器校準系統,有助於減輕任何過程的退化。這些技術結合強大的4G暗場掩模模型,使機器高度可靠。ASML NXT 1950i設計為全天候運行,輸出質量和產量優異。其先進的功能提供了卓越的工藝產量和成本節約。由此,適用於內存生產、相片面罩制造、平板顯示器制造、醫療器械生產、光學傳感器等領域非常復雜的工藝開發。
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