二手 ASML NXT-AI #9304318 待售

ASML NXT-AI是一種晶片步進器，可實現半導體晶片曲面的高精度陣列。這臺機器是步進器，這意味著它使用一個步進重復的過程來沈積一個抗蝕劑材料來繪制晶片表面的圖樣，而不是像曝光設備那樣完全掃描每個晶片。該機由四個主要部件組成：基板輸送系統、激光曝光裝置、曝光後烘焙機和檢驗/清潔/幹燥工具。基板輸送資產將晶片沈積在一個旋轉的盤片上，然後將其發送到光學掃描儀。掃描儀利用激光的能量通過暴露抗蝕劑材料在晶片表面上創建圖樣。PEB模型用於通過烘烤抗蝕劑來幫助形成圖樣。創建圖樣後,檢查設備用於檢查晶片是否有缺陷,清潔/幹燥系統用於在裝運前擦除晶片。ASML NXT AI的關鍵特點是其雙級X射線投影單元，使得高精度的納米圖樣化成為可能。這臺機器使用了8納米分辨率，用於一個極其細致的圖案化晶圓表面。該機還配備了離軸源，通過從邊緣到邊緣產生更均勻的圖樣，提高了圖樣的精度。此外，機器還配備了自對準工具以及各種劑量和放置系統，這有助於限制過程的可變性。NXT-AI晶片步進器設計具有高速內部內存和處理能力，確保高吞吐量和高效運行。該機不含VOC，旨在提供高模式保真度。它還符合AEC-Q213要求,允許在出現處理錯誤時進行可靠的即時調整。此外,該機器還配備了自動化維護功能,有助於減少停機時間並提高長期可靠性。總體而言,NXT AI晶片步進器是一種先進的機器,能夠在半導體晶片上提供高保真度、高精度和高可靠性的高分辨率模式。這臺機器旨在為半導體制造商提供最大的效率和性能,其先進的功能使其能夠創建復雜的高分辨率納米圖案曲面。