二手 ASML PAS 2500 / 10 #9241066 待售

ASML PAS 2500/10是由半導體制造設備公司ASML設計生產的晶圓步進器。它是一臺相對先進的機器，采用先進的成像、圖樣和運動技術，在晶片上精確地制圖光抗蝕劑。這臺機器有兩個光學放置系統，一個確定晶圓定位，一個確定陣列設備微觀偏移的對準場。圖樣化是使用一個投影系統實現的，該系統具有一個由10微米激光和5英寸三角形鏡組成的投影單元。它也有能夠移動晶片的機械手，使晶片的不同部分可以暴露於來自激光的光中。定位和對準系統允許光刻膠的精確定位，偏差小於1微米。投影機使用光刻透鏡，允許0.5微米的精細曝光分辨率，使用特殊透鏡可以獲得更好的分辨率。該工具還采用自動聚焦功能,以確保陣列始終處於清晰聚焦狀態。PAS 2500/10配備了晶片卡盤機構,該機構包括使晶片保持運動的熱卡盤和將晶片固定在陣列上的霜狀卡盤。熱卡盤還使ASML PAS 2500/10能夠在不同的曝光任務之間快速切換。晶片步進器還包括一個晶片級，設計用於提供穩定和可重復的自動運動控制。PAS 2500/10共有六個運動軸，其中三個專用於晶圓運動，一個專用於投影透鏡，一個專用於標線，一個專用於晶圓級。它還有一個五點相關標記，允許光掩模對準到一微米以內。ASML PAS 2500/10還具有用於自動光刻烘烤的先進雙軸機械手,可提高工藝精度並確保光刻塗層均勻地分布在晶片上。它還有一個輸送機資產，便於晶圓從機器轉移到機器。PAS 2500/10是一種高度精確的晶圓步進器。憑借先進的成像、陣列和運動技術,它將ASML在半導體制造設備方面的專業知識帶到了中小型和大型生產運行中。它的運動精度保證了嚴格的公差，光刻烘烤模型保證了受控和準確的曝光，從而能夠以經濟高效的方式創建高度精確的圖樣。