二手 ASML PAS 2500 / 30 #139553 待售
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已售出
ID: 139553
晶圓大小: 5"
Stepper, 5"
Operator training: No
PEP 2 (Color graphics): Yes
PEP 1/3/4: Yes
SECS (I/II): Yes
SECS Job creator: No
Single reticle SMIF: No
Matching manager: No
Extended file system (MEP): No
Focus enhancement package: No
Line scan: No
Dose control: No
Reticle error correction: No
Throughput enhancement: No
Batch status light: No
Reticle carrier identification: No
Extended power supply: No
88um Error detection: No
RICO Verification: No
Chuck spot detection: No
Wafer track interface: Yes
Wafer tilt monitor: No
Mechanical / electrical / options:
Interface: SVG 88
Stamp drive type: Non
Stamp foot type: Clean
Stamp POU filter: Yes
Cybeq: SSSD
Airshower (OEPS): No
P-Chuck: MIII
P-Chuck top flatfinder: No
Microscope: Fixed
Lamp HG: 450W
Alignment pcbd: 4022.436.24720
Analog pcbd in VME: Yes
HDD: STD
TCU: No
HCU: No
Ionizer: No
Box 1: FESTO
Box 2: FESTO
Box 3: FESTO
Box 4: FESTO
Box 5: FESTO
Software: 8.1.0
Optical performance:
Uniformity: 2.8
Matching X magnification: 224
Matching Y magnification: 153
UDOF at 0.7 micron status Q4-2008: 2.4
Currently de-installed.
ASML PAS 2500/30是一種用於光刻的高端晶圓步進器。這些步進器成本高昂，但它們提供的精度比其他晶圓步進器更高。設備由兩大部件組成；硬件和軟件。硬件包括光學平臺、電動級和圖像捕獲組件。軟件是系統的核心，使用戶能夠對步進器進行編程以執行各種任務。PAS 2500/30的光學系統使用激光和光纖的組合來創建圖像。該單元可以創建比其他系統更高分辨率的圖像，從而在定位和移動方面實現更高的精度。電動級有助於在光刻過程的每個步驟中精確定位晶片。此精度可確保將設計的圖樣正確傳輸到晶圓。圖像捕獲組件允許操作員監控光刻過程的性能。步進器設計用於無汙染環境。這有助於保持光刻過程中使用的材料層的完整性。機器的軟件允許用戶對晶圓步進器進行編程以執行特定任務。他們可以使用軟件對晶片級、聚焦工具參數和步進速度進行編程。該軟件還可以方便地監控資產的性能。ASML PAS 2500/30是一種昂貴但精度很高的晶圓步進器。它的激光和光纖創建高分辨率的圖像和它的電動級提供精度。內置軟件允許操作員對各種任務進行編程並監控步進器的性能。步進器設計用於無汙染環境，以幫助確保光刻層的完整性。
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