二手 ASML PAS 2500 / 30 #293817891 待售
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ID: 293817891
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.43
Resolution: 800 nm
DCO: 150
Throughput (WPH): 60.
ASML PAS 2500/30是具有先進工程和技術能力的晶圓步進器。這種晶圓步進器在半導體工業中處於領先地位,提供高產率的小型精密元件,同時減少浪費材料的數量。PAS 2500/30配備了5軸掃描儀,最多可容納30個晶圓,可以配置客戶定義的6英寸到12英寸的卡盤直徑。采用集成空氣軸承保證高精度定位.這種設計允許快速加速和高速掃描的高吞吐量。ASML PAS 2500/30的非典型特點是其突出的聚焦功能。該晶片步進器能夠消除波長為248nm時晶片表面上高達10nm的殘余聚焦誤差。此外,步進器能夠自動對焦以產生最高質量的圖像。PAS 2500/30完全自動化,運行平穩,不斷優化其流程。它還具有自動曝光控制功能,使機器能夠根據不同的晶片類型調整曝光參數,大大減少了編程或設置晶片步進器所需的時間。此外,它還具有冗余的安全功能以及專有的緩沖系統,可提高步進器的工作效率並降低運營成本。ASML PAS 2500/30是為可靠性而構建的,可以在最短的停機時間內長期運行。其先進的設計和卓越的工程技術使其成為以最高效的方式生產高質量元件的理想選擇。其無與倫比的準確性和可重復性有助於確保客戶能夠依靠它來持續生產最佳零件。PAS 2500/30是高科技工程項目的理想選擇。
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