二手 ASML PAS 2500 / 30 #9190605 待售

ASML PAS 2500/30是用於生產半導體器件的晶圓步進器。它是一種結合了光學、力學和控制技術的最先進的設備，可以產生高分辨率和高精度的曝光圖像。這種步進器的先進能力使得它適合各種各樣的應用和生產要求。該系統采用低放大倍率、長工作距離鏡頭，以減少近紅外區域的焦移。這樣就可以產生30到120毫秒的短曝光,並提高吞吐量。X/Y級采用基於精密伺服的運動控制，采用先進算法，在緊密封裝中提供頂級精密運動控制。該單元采用步進和重復技術，通過將圖像快速寫入晶片來實現高吞吐量。步進器具有場順序照明（FSI），還支持均勻等通量照明（EFI），用於控制曝光劑量，提高圖像分辨率的準確性和均勻性。步進器還具有可編程的曝光系統，以優化曝光能量，減少曝光期間焦點和熱漂移的影響。該機具有精確、快速的自動校準工具，可根據對準和焦點偏差進行調整，從而提高吞吐量，減少停機時間。它還包括用於剖面和異常檢測的系統，這些系統能夠更好地控制光線強度，以提高暴露劑量的準確性。此外,資產還使用缺陷檢查和審查系統來檢查曝光圖像的質量。PAS 2500/30是一種先進的型號，適合生產精度和精度最高的半導體器件。它具有精確運動控制、現場順序照明、曝光劑量精度系統、圖像檢視系統和缺陷檢測等優異的特點。這使得它成為生產高質量半導體器件的可靠高效的工具。