二手 ASML PAS 2500 / 30 #9234701 待售

ASML PAS 2500/30是專為現代半導體工業需求而設計的最先進的晶圓步進器。這一系列步進器為無掩碼光刻、光學圖樣識別和圖樣叠加提供了靈活的光刻選項。PAS 2500/30采用業界領先的技術,專為高產量和低擁有成本而設計。ASML PAS 2500/30憑借其專有的Quad-VFD HSIS Optics和獨特的Veeco照明設計實現了卓越的成像性能。這種步進器以其高功率紅外激光提供卓越的成像輸出和擴展的聚焦深度，以優化均勻性和分辨率。Quad-VFD HSIS光學還提供高效、高精度的設計優化，並支持高級模式搜索應用。Veeco照明設計可確保出色的成像效率,最大限度地減少圖樣幹擾,並提供快速的處理速度。PAS 2500/30還允許模式叠加功能,它允許對多層進行精確測量和對齊,以便進行高級光刻生產。這種步進的先進硬件和軟件在復雜的光刻應用中提供了更高的重復性和準確性。它還提供了高達+/-1 um的x和y軸對準精度,以及6英寸晶圓上最高+/-0.5 um的z軸對準精度。對於自動光刻生產,ASML PAS 2500/30提供無掩碼光刻和光學圖樣識別功能。無掩碼光刻可以自動生成高質量的晶圓圖樣和復雜形狀,而無需使用掩碼或母版,從而降低了總體生產成本。其集成的光學模式識別功能為快速周轉提供了高精度的模式識別和自動晶圓縫合。PAS 2500/30是需要精確精度的現代高科技光刻應用的理想選擇。它提供了先進的成像性能、精確的覆蓋能力以及尖端的無掩碼光刻和OPR功能,以改進晶圓的生產。