二手 ASML PAS 2500 / 30 #9241931 待售

ASML PAS 2500/30晶圓步進器是一種用於半導體制造過程中，將圖樣暴露在集成電路（IC）基板表面的設備。它是一種精密設備，能夠精確、一致地將電路特性打印到矽片上，精度極高。PAS 2500/30是一種先進的步進設計，利用光學還原技術在矽片上精確地暴露所需的圖樣。步進器配置有兩個控制系統,一個外部設備和一個內部系統。外部單位負責潔凈室管理，將晶片暴露在受控過程中，並保持精確的對準和準確性。內機負責微調晶片的曝光。此工具監視和調節陣列保真度、對齊方式以及實現所需特征大小所需的過程。ASML PAS 2500/30利用了多種光學器件和一種逐步重復的方法。光學陣列由多個透鏡、濾鏡和其他組件組成，這些組件都精確對齊，將輸入模式引導到矽片上。這種光學陣列與步進重復的方法相結合，以精確地暴露晶圓圖樣。步進器通過索引增量循環聚焦模式和載波,並以每個周期固定的次數步進整個字段。這有助於確保準確的模式曝光。步進器的外部資產監視晶圓覆蓋層的大氣和光屏蔽，可以控制環境條件，如溫度和氣壓。這有助於確保晶片的曝光與陣列布局中指定的完全相同。此外,PAS 2500/30還包括一組精確測試和計量工具,可用於監視和測量步進器的性能。這些工具可以提供與步進器的曝光、對齊和性能相關的數據,並有助於確定其操作中的任何潛在問題。總體而言,ASML PAS 2500/30是為半導體制造過程而設計的高度復雜和精確的晶圓步進器。它能夠以極高的精度將圖樣暴露在矽晶片上，從而可以生產高質量的集成電路。這種步進器是任何現代半導體制造設施的寶貴設備.