二手 ASML PAS 2500 / 30 #9356985 待售

ASML PAS 2500/30是個人大小的高分辨率CD步進器，專為廣泛的晶圓處理應用而設計。它是一種用於亞微米特性尺寸的制造應用的強大解決方案,提供卓越的過程控制、高吞吐量和超清潔操作。步進器結合電子束光刻的優點和緊湊平臺的柔韌性和兼容性，使其成為半導體制造的理想選擇。PAS 2500/30的200 mm晶圓平臺提供了最高分辨率的晶圓處理，超過了其他集成光刻系統。ASML PAS 2500/30具有使用高級算法的最先進的參數控制功能,允許在整個字段中優化亞微米叠加。晶片步進器使用衍射光學元件與成束鏡配合使用，以確保在廣泛的工作距離範圍內可重復覆蓋。PAS 2500/30提供了極其清潔的環境,其設計可減少靜電放電條件。這種組合消除了光刻膠在晶片上的飛濺，並允許處理具有無與倫比的工藝緯度的敏感材料。整體集成環境包括精確的2軸可編程對準系統、PC控制溫度、保形保形塗層系統。ASML PAS 2500/30的設計考慮了模塊化,允許用戶擴展或修改系統配置以滿足其制造需求。它還包括一整套集成的計量和檢查工具,這些工具具有直觀的圖形界面,便於設置和優化控制。晶圓步進器的設計采用了可擴展的冷卻解決方案,可隨著生產需求的增加進一步提高性能。所有這些功能使PAS 2500/30成為高級晶圓處理應用的智能選擇。