二手 ASML PAS 2500 / 40 #293629183 待售
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ASML PAS 2500/40是一種晶圓步進器，設計用於制造半導體、顯示面板和醫學成像元件。它配備了最先進的光學成像、投影和定位技術，在半導體加工應用中提供最佳的圖像均勻性和基板運動控制。設備的核心是雙成像器設置，它結合了兩個125毫米激光器，創造出一個250毫米的單一光源。這項功能負責高通量和非常高分辨率的成像基板的直徑達8英寸。此外，雙激光系統還具有350 nm波動小於1 nm的光源成像能力。該裝置配備了先進的x, y, z運動控制機，用於基板的精確運動。它采用精密直線電動機設計，提供快速、精確的舞臺運動。高吞吐量、高分辨率和高精度位置控制相結合，使刀具每小時可達到高達40個晶圓的吞吐量。資產中還內置了集成晶圓處理模型。這使得傳統的基板加載過程自動化，以降低復雜性並增加循環時間。裝載機和卸載機采用鉸接式臂設計，保持基板位置，優化加工時間。自動化和精確運動控制的結合使設備實現了統一的成像和處理時間。為了進一步提高系統的功能,ASML PAS 2500/40配備了多種可選功能。該軟件套件能夠容納各種底物，並允許定制流程和配方。此外，該設備與各種工藝硬件兼容，如自旋漂洗幹燥機、清潔模塊和狹縫燈系統。PAS 2500/40是一種高效且可定制的晶圓步進器。它結合了精確運動控制、雙激光成像、自動晶圓處理和強大的軟件套件,以提供最佳的成像和過程控制。PAS 2500/40具有高吞吐量、先進的成像技術以及與各種工藝硬件的兼容性,是滿足任何半導體處理需求的理想解決方案。
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