二手 ASML PAS 2500 / 40 #9010549 待售

ASML PAS 2500/40是一種雙光束步進掃描機，為體積亞微米光刻應用提供高精度和高通量。ASML PAS 2500/40設備包括兩個獨立模塊,即掃描儀和源。Scanner是主控制模塊,包括全場源掩碼掃描儀、入射角控制模塊、CoaXPress通信協議以及用於同步數據路徑和移動的控制器。同時,源模塊包括一個全場40W脈沖激光光源、一個偏振光傳遞系統、一個波長監視器和一個網格監視器,以確保每次都能實現精確曝光。利用這兩個模塊，PAS 2500/40非常適合提高晶圓掃描的效率和準確性。而且，PAS 2500/40配備了直觀的圖形用戶界面（GUI），允許用戶從觸摸面板顯示屏上輕松控制單元。此外,ASML PAS 2500/40利用稱為SDF （Sequential Deflection Field Mode）的高分辨率掃描機,可以減少廣角曝光的放置誤差,減少長線特征的失真。而且，ASML PAS 2500/40是一個全場步進器，因此可以提供多達4000個可編程光束，使高分辨率電路的成像變得容易。就性能而言,PAS 2500/40提供了先進的分辨率、卓越的對焦深度和精確的舞臺運動控制。它的高精度是通過精確的線性和角度測量，如編碼器跟蹤和光學計量工具的組合來實現的。此外,該工具設計為具有低像差和低噪聲,可確保卓越的成像和光阻。最後，PAS 2500/40帶有多種用戶友好的特性，如自動晶圓識別、晶圓識別碼和參數的即時編程。因此,此晶片步進器是滿足高端光刻需求的最佳解決方案之一。此外,該資產還通過LED指示燈和一致性檢查提供了簡單明了的監控,為每個應用程序提供了優越、準確的流程。