二手 ASML PAS 2500 / 40 #9193197 待售

ASML PAS 2500/40是一種基於Nexprecis的晶片步進器，專為半導體晶片處理而設計。它采用應用物理、先進光學和納米技術相結合的完全集成平臺，支持整體工藝性能和提高產量。ASML PAS 2500/40集成了旋轉膜設計、掃描長度可達40毫米的采集系統和超快50 mHz光學加速控制器。它配備了最先進的軟件和車載智能，實現了高速、高精度的晶圓處理。集成的控制和軟件系統在晶圓操作中提供了卓越的精度，減少了停機時間，提高了流程吞吐量。Nexprecis平臺提供了連續掃描操作和0.2nm的精確劑量校正，從而在半導體加工中實現了更高的產量和精度。該系統還包括用於精確溫度和曝光控制的集成過程控制器，確保可靠的光刻結果。PAS 2500/40的超低熱輪廓、低應力光學提供了卓越的叠加控制和改進的成像能力，同時多種曝光模式確保了晶圓的快速傳輸。其內置高溫掃描可實現淺層溝槽隔離（STI）處理。PAS 2500/40在流程環境中使用時還提供了更好的性能。它支持高速成像,每秒最多可曝光5次,使用相同的光學器件可實現更高的吞吐量。增強的處理能力為先進的光刻和工藝解決方案提供了更高的控制和精度。ASML PAS 2500/40是一種高度可靠、經濟高效且用途廣泛的晶圓處理工具,專為滿足半導體制造商的需求而設計。它被設計為高度可配置,並具有直觀的用戶界面和觸摸屏控制功能,使其易於使用並最大化流程性能。