二手 ASML PAS 2500 / 40 #9245751 待售
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ASML PAS 2500/40是晶圓步進器，用於將電路模式傳遞到晶圓上。這種特殊的模型是一種先進的4百萬像素步進器，具有卓越的設備性能，其基礎是一種獨特且經過驗證的使用極紫外線（EUV）成像光學器件的先進投影技術。它提供了改進的成像能力和減少的過程吞吐量時間。它具有較大的腔室尺寸，有助於確保均勻穩定的曝光條件，從而獲得最佳的圖像性能。它還具有更高的吞吐量，具有能夠在每次曝光中容納多達10個晶圓的工藝室大小。步進器易於使用,並具有自動對齊功能。ASML PAS 2500/40具有高度精確的晶片定位和自動聚焦系統,允許在此過程中精確暴露晶片。先進的車載傳感器和接口使它能夠檢測到任何問題,無論是空氣汙染還是損壞的晶圓,從而實現快速的服務和最佳的圖像質量。步進器還配備了智能標線處理和先進的自動化維修，提供完整的過程控制。PAS 2500/40還設計了特殊的機械特性,可確保激光損傷最小,從而實現一致的圖像和工藝質量。這種步進器是為確保可靠性和安全性而設計的，具有晶圓旋轉系統和自動標線傳輸機器人等特點。它配備了一個先進的數據收集單位，提供詳細的過程監測和業務摘要報告。其直觀的用戶界面和易於使用的流程控制軟件允許快速的服務和無錯誤的操作，減少了曝光步驟之間的時間。它還具有遠程訪問和監視機器,可以監視整個工具、服務和維護要求以及在線步進狀態,以便站點與ASML之間進行安全通信。總體而言，PAS 2500/40晶片步進器是一種可靠、高效的高精度晶片成像工具。其先進的成像能力、安全功能和先進的數據收集資產,確保了高質量和一致的性能。
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