二手 ASML PAS 2500 / 40 #9266133 待售

ASML PAS 2500/40是用於微芯片制造的最先進的晶片步進器。它是一種使用五軸成像光學、兩個掃描階段和計算機控制階段在芯片上產生高分辨率微結構的高精度設備。該系統通過將光的圖樣投射到掩模上來工作。然後,在整個零件上掃描光源時,蒙版相對於晶片移動,從而在晶片上創建陣列。重復此過程,直到完成所需的模式。ASML PAS 2500/40是一個全場單元,使用空白晶片作為創建陣列的基板。它提供了高度的精確度，允許制造極小的微觀結構，具有優越的分辨率和高度的可重復性。PAS 2500/40利用計算機自動設計（CAD）軟件界面來創建、存儲和檢索程序文件,使其高效。該機還配備了優化的光學工具，用於極高分辨率成像。它采用雙路徑光學資產，融合了高分辨率多發射極光源和光學元件。這允許步進器產生40 mm字段大小的400 nm特征大小和8 mm字段大小的180 nm特征大小。PAS 2500/40還帶有一個傾斜旋轉階段，允許在掃描區域內精確定位基板。掃描速度和掃描模式可以自定義,並且能夠在掃描操作期間跟蹤移動的對象。ASML PAS 2500/40的對比度與分辨率也是可調的,允許優化各種樣本量和技術的生產。ASML PAS 2500/40是一種高效、精確的模型，目前被包括半導體、微電子、生物技術、醫療器械制造等多個行業所使用。它專為工業用途而設計,需要最少的維護,因此是廣泛應用的絕佳選擇。