二手 ASML PAS 2500 / 40 #9275403 待售

ASML PAS 2500/40是一種高級晶圓步進器，設計用於光刻和其他陣列應用。步進器配備了58英寸分辨率的鏡頭，能夠產生0.5微米寬的多種特性。它能夠在直徑不超過16英寸的表面上產生特征,並且可以裝載半導體晶圓、平板顯示器和MEMS/NEMS設備等基板。ASML PAS 2500/40利用了幾種先進技術來確保光刻工藝的精確度和效率。它具有動態非線性色散像差校正（DCDAC）功能,這是一種用於自動評估和校正投影圖像失真的獨特光學過程。PAS 2500/40也是第一個加入脈寬調制（PWM）照明的步進器，造成更高的精度和光均勻性。步進器還使用了專利的ImprintPower波長控制系統，以確保一致的曝光劑量。PAS 2500/40提供了易於操作的緊湊高效設計。步進器的物理占用空間很小,可以由單個用戶輕松操作。步進器還具有自動對齊功能,可促進層間的精確叠加對齊,並提高邊緣放置精度。對齊功能的多功能性還允許用戶進行各種調整，如聚焦、旋轉、位置和放大等。ASML PAS 2500/40還具有先進的自對準掩碼階段。這一先進技術確保了高達0.5微米的精確掩模對準，同時也減少了由於掩模未對準而出現缺陷的可能性。歸根結底，ASML PAS 2500/40是生產高精度光刻圖樣的先進可靠步進器。步進器易於由單個用戶操作,並附帶各種先進技術,以確保每個陣列化過程盡可能高效、準確地運行。