二手 ASML PAS 2500 / 40 #9285750 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9285750
晶圓大小: 3"
Wafer stepper, 3"
Resolution, 0.7 µm
Reticle handling PCB
Stamp up / Down
Focus laser drive
Diode control
P-Chuck pre amplifier
Blades control
Blades DR
Motor relay
Relay card
Voltage current
Interference filter
Focus servo
Reticle table table control
Timing control card
Hinds modulator
Alignment counter
Alignment Mux + Dem
Velocity card
Bar code reader
Commutator
Charge amplifier
Wafer handling
Cyber termination
Floppy termination
2500x Table control
PAS 2500T Table control
Mains switch relay card
Pin spot sensor
Wafer quality and ambient
Signal conditioning board RMS
WH Pre amplifier HTW
HV Cable with ferrite Ring
Cables / Sensors
CYBEC Transmitter, 4"
CYBEC Receiver, 4"
Hard Disk Drive (HDD)
(3) P Chuck motors
Motor realignment unit (X/Theta Reticle handling)
Boards missing.
ASML PAS 2500/40是一臺193納米二元步進掃描光刻機，廣泛用於制造用於生產計算機芯片和其他電子元件的晶片。ASML PAS 2500/40能夠在尺寸從100毫米到200毫米的晶片上產生模式，最大模具尺寸為8 「x 10」。PAS 2500/40采用了可移動的光學設備,具有一對能夠實現多變光學系統的六倍透鏡。鏡頭提供高分辨率的成像和恒定的光學性能，使得該單元適合高速生產。Liquid Developers的使用使機器能夠以非常低的能量曝光進行一系列曝光劑量的直接寫入曝光。PAS 2500/40利用X射線源、激光源和步進控制晶片卡盤的組合。X射線源用於照射晶圓，而激光源則用於直接暴露於晶圓的劑量。步進控制的晶片卡盤允許晶片在曝光過程中移動，從而使曝光過程的各個步驟得以準確進行。ASML PAS 2500/40還具有AutoFocus和Autoalign等多項先進技術，允許以非常高的精度和均勻性進行自動成像和曝光。該工具還具有掃描焦平面切片資產,允許同時執行一系列晶圓曝光步驟。此外,ASML PAS 2500/40還具有軟件控制的掃描過程,可將給定層的曝光次數降至最低。該機還配備了多種計量工具，可實現最佳的過程控制和優化。PAS 2500/40是一種極其可靠和通用的晶圓步進器,能夠在要求最苛刻的光刻和測試應用中提供高精度、重復性和魯棒性。
還沒有評論