二手 ASML PAS 2500 / 40 #9356981 待售

ASML PAS 2500/40是最先進的計算機控制晶圓步進設備。ASML PAS 2500/40能夠在直徑2-5英寸的各種晶圓尺寸上生成高分辨率圖像。該系統采用模塊化設計,便於設備的設置和重新配置,從而使用戶能夠獲得最佳性能和最大吞吐量。PAS 2500/40包括一個高度精確、熱優化的線性驅動級,它利用了一個獨特的、獲得專利的基於激光的主動路徑補償（APC）機器。這種先進的APC工具通過調整激光強度以反映地形差異來補償晶圓地形的差異。因此，用戶能夠獲得晶圓上光學元件的極其精確的對準。此外,PAS 2500/40還包含一個完全閉環的控制資產,允許對位置和曝光參數進行完整的實時反饋。ASML PAS 2500/40還提供了幾種高級成像功能,如圖像穩定、場曲率校正和幾種曝光模式的選擇。它還包括一個有效的差分對準模型（DAS）,無需手動調整焦平面。此外，ASML PAS 2500/40具有可選的高精度叠加能力，提供晶圓上光學圖樣的高質量叠加匹配。PAS 2500/40采用了先進的光學設計，將主光學元件和快速（衰減器）鏡頭結合在同一設備中。結果是分辨率提高,失真降低。此外,系統還為各種不同的層提供了廣泛的設置庫。此外,廣泛的安全功能集為用戶和設備提供了卓越的保護。總之,PAS 2500/40具有高級設計、高度精確的組件和出色的成像功能。它具有靈活性、精確度和圖像精度,是晶圓步進系統的絕佳選擇。