二手 ASML PAS 2500 / 45 #9245750 待售
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ASML PAS 2500/45是一個步驟和重復晶圓步進器，旨在提供高精度的對準和定位。它能夠在晶片上步進和重復一個設計模式，具有高度的準確性和可重復性。PAS 2500/45專為300 mm晶片設計，利用800 mm對準器提供高精度對準和先進的對準技術，達到1 nm的對準精度。它還配備了先進的步進模式匹配能力，用於快速模式識別和精確定位。其45nm分辨率允許高精度成像,具有高覆蓋性能和改進的工藝產量。ASML PAS 2500/45使用高級圖像分析和圖像處理工具來檢測晶圓特征中的小幾何形狀。它還具有用於實時故障的快速光學檢測設備和用於過程優化的高端圖像庫。此外，PAS 2500/45配備了先進的熱管理系統，以減少熱漂移，使機器的性能更加可靠。此單元還允許在± 2°C內調節步進器的溫度控制,確保保持最佳操作條件。ASML PAS 2500/45進一步配備了開放式體系結構計算機器和一套功能強大的軟件工具，旨在簡化操作並最大化生產力。這種獨特的體系結構允許機器同時用於高級研究和生產應用。PAS 2500/45對於那些希望將高精度對準和位置納入其晶圓處理需求的人來說是一個極好的選擇。它旨在提供高精度的精度和先進的對準技術，同時仍然保持成本效益。
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