二手 ASML PAS 5000 / 45 #293749241 待售

ASML PAS 5000/45是一種晶圓步進器，用於在半導體生產中將光掩模成像到晶圓上。步進器配有高分辨率鏡頭，提供高精度的曝光點放置在晶圓上。它還配備了4環幹涉儀和無縫掃描機構，以確保每次曝光時光掩模和晶圓的超精確對準。PAS 5000/45設計用於連續暴露大型晶片，吞吐量為每小時43個晶片。它有一個大的單向擺動級，以精確對準晶片進行曝光，並提供高達450毫米的場大小。步進器采用高精度離軸成像設備，將模擬電路精確成像到晶圓上。步進器還具有超快邊緣曝光映射系統，以確保最佳曝光質量。該設備高度自動化,設計為無需操作員手動幹預即可運行。它有一個內置的高架機器，可以自動清潔冷凝器鏡頭，並確保每次曝光都有適當的成像條件。該工具還可以報告圖像質量指標，如鏡頭霧霾，以確保每次曝光的最大精度和一致性。ASML PAS 5000/45專為先進半導體器件的小批量和大批量生產而設計。它被設計為高度可靠,打印產量大於99.9%,且故障之間的平均時間（MTBF）大於100萬次曝光。總之，PAS 5000/45是一種高度精確可靠的晶圓步進器，設計用於生產先進的半導體器件。它提供高精度、高吞吐量和自動化操作,是半導體生產的理想選擇。