二手 ASML PAS 5000 / 50 #293586476 待售

ASML PAS 5000 / 50
ID: 293586476
晶圓大小: 6"
Stepper, 6" 0.5um.
ASML PAS 5000/50是一種領先的高端晶圓步進設備,用於半導體制造。作為目前最先進的系統之一,它具有廣泛的前沿功能,如可編程光學和高級自動對焦功能。步進系統由兩個高度精確的級和一個單一的高功率鏡頭組成。這些級的聯合仰角精度僅為0.8微米,非常適合要求最高精度的應用。其中一個階段可以擺動高達22度,允許進一步的操控和更精確的定位。除了高度精確的舞臺和鏡頭外,ASML PAS 5000/50還提供了許多高級功能。對於初學者來說,它配備了一個可編程的光學單元,使用戶能夠為激光曝光和聚焦設置定制的輪廓。這可以為每個晶片提供廣泛的曝光級別和設置,使機器成為小型晶片和復雜陣列的理想選擇。它還具有先進的自動對焦技術,使其易於使用,並有助於減少因鏡片對準錯誤而造成的缺陷。該工具還附帶了許多定制選項,這些選項可以根據生產需要進行定制。例如,可以使用H鏡像配置資產,從而實現分割場成像和改進焦點控制。此外,還提供了自動縫合,使其易於一次處理多個晶片。總而言之,PAS 5000/50是一種最先進的晶圓步進模型,可提供最高精度和自動化控制。該系統具有先進的光學設備和高精度級,是任何具有緊密聚焦公差和精確陣列要求的微加工應用的理想選擇。
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