二手 ASML PAS 5000 / 50 #293621670 待售

ASML PAS 5000/50是由荷蘭公司ASML Holdings NV制造的高精度晶圓階梯式托盤。步進器是一種全場掃描設備，設計用於處理大小基板，包括矽片、有機基板和光學玻璃板。它允許創建最小特征尺寸為0.15 μ米（1.5nm）的精密微型特征。ASML PAS 5000/50是建立在一個強大的機械設計，集中激光和光學在變質。這個復雜的系統允許機器掃描和暴露工件與編程圖像。步進器能夠處理透明的基板，範圍從矽片到直徑達15.75英寸的基板。步進器由三個關鍵部分組成，分別是掃描臺、照明單元和光學機器。掃描臺由電磁體的二維排列和兩個用於晶圓定位的X-Y臺組成。電磁線圈用於驅動兩個X-Y表，提供80mm（3.14英寸）的最大位移。照明工具包括80 W紫外線激光器、可選的12 W紫外線激光器、可變形鏡校正器和包括高精度透鏡在內的光學陣列。高速激光器能夠以高達420 Hz的重復率進行掃描，允許線路曝光時間為0.15秒（10毫秒）。步進器還能夠檢測和校正整個陣列區域的像差,並最大程度地減少焦點變化的影響。PAS 5000/50的光學資產具有一系列短焦距和長焦距鏡頭,以及雙遠心校正器。這些鏡頭旨在減少視野中的像差,同時實現從0.6 μ m到6 μ m的最佳圖像光斑大小。步進器還配備了一系列用於成像和對準的相機。PAS 5000/50是各種先進顯微鏡應用的通用工具。對於需要生產用於制造IC、顯示器和光學器件的高精度圖樣基板的用戶來說，這是一個可靠的選擇。步進器可靠、高效，為從研發到大批量生產的各種任務提供了有效的解決方案。