二手 ASML PAS 5000 / 50 #293817883 待售

ASML PAS 5000/50是一種高性能的機器人晶圓步進器，用於從矽板中創建單獨的、極其精確的半導體元件。它由一個機械臂設備組成，當晶片和基板接觸成像激光束時，它們通過多個真空級移動。系統的核心是一個步進掃描平臺，它掃描成像透鏡上的圖樣，以規則圖樣跟蹤電子束的路徑。這種圖案被投射到晶圓的表面，並被精確掃描多次，以創建一個精細的詳細圖像。為了支持晶片的精確移動和跟蹤,ASML PAS 5000/50包含了一個高標記單元,可在每個步驟和掃描過程中準確跟蹤目標。這允許晶片的精確定位和調整，允許在制造過程中具有高度的可重復性。PAS 5000/50還配備了光學成像機，能夠對晶圓表面的電線設備和電路進行計算機檢查。這樣可以快速輕松地排除肉眼看不到的零件和組件的故障,從而幫助確保以高精度制造零件。此外,步進器還配備了數字校正工具,為步進器的運動提供精細的對齊和高精度編輯功能。這樣可以提高投影到晶圓表面的成像激光束的精度,並確保每個元件都忠實於關聯的CAD繪圖。最後，PAS 5000/50與其他系統高度兼容，例如薄膜測量系統。這使操作員能夠測量、檢查和調整晶圓表面上薄膜塗層的物理特性。這有助於確保最高生產效率和質量。總之，ASML PAS 5000/50是一種先進的機器人晶圓步進器，專門為生產復雜的半導體元件而設計。其先進的掃描、成像和定位系統有助於確保生產過程中的準確性和可重復性，允許生產極其精確的元件。