二手 ASML PAS 5000 / 50 #9046375 待售

ASML PAS 5000/50是為滿足大批量生產需求而設計的先進晶圓步進器。這種裝置能夠在半導體晶圓上制圖臨界層的微電路，是制造現代數字技術的理想之選。ASML PAS 5000/50是一種優化的光刻解決方案,它利用高分辨率透鏡、先進的成像系統和精密的軟件算法來精確地繪制晶圓圖案。該設備具有足夠的靈活性,能夠以各種分辨率支持單次曝光和多次曝光操作。此外還有高吞吐量的生產能力和最小的機器停機時間。在光學設計方面，PAS 5000/50利用了先進的雙場鏡頭，數值光圈為NA=0.22，以及基於鏡子的投影對準系統，允許高分辨率成像。該裝置還配備了完全集成的聚焦和曝光控制機器，以及先進的空中成像工具和攝像頭校準套件。PAS 5000/50還具有運動臂和晶片卡盤,它允許將晶片置於所需的方向,並允許精確定位和暴露集成電路的各個區域。一種自動夾緊設備可抵消轉速變化,從而實現晶片的可靠陣列。ASML PAS 5000/50還設計了一系列自動化的過程監控和管理系統。這包括一個先進的晶圓缺陷檢測模型，以及一個全面的過程分析包，允許快速檢測和診斷任何潛在的問題。最後,ASML PAS 5000/50能夠運行自動生產配方,這些配方經過編程以確保在制造過程中達到最高質量標準。這樣可以實現最低的缺陷率和更快的生產周轉時間。綜上所述，PAS 5000/50是一種高度先進的晶圓步進器，旨在滿足現代生產需求。憑借其定制的光學設計、集成的曝光和焦點控制、自動化配方、過程監控和管理系統,此設備非常適合大容量晶圓制造。