二手 ASML PAS 5000 / 50 #9223541 待售

ASML PAS 5000/50是一臺由荷蘭ASML Holding N.V開發的先進晶片步進機，利用先進的雙光束光學設備、新的減振器和更新的透鏡系統，準確精確地聚焦正在加工的晶片上所需的位置。ASML PAS 5000/50設計用於半導體、MEMS和NAND閃存器件的晶圓處理。它配備了40/50 kV電子源，設計用於低能可靠成像。它結合了先進的光學、運動控制和反饋系統,提供高吞吐量和卓越的精度。PAS 5000/50的雙光束光學單元提供了廣泛的曝光角度和焦高度，使機器能夠對傳統步進器可能失焦的大模具成像。這種改進的光學工具和新型減振器的組合使機器能夠以高精度的方式精確地成像各種特征。新鏡頭資產和控制系統的結合還使PAS 5000/50能夠集成一些附加功能,如自動定位和自動維護。自動定位允許通過改變焦高和曝光角度來自動控制晶片級的運動，從而使晶片上所需的位點能夠快速而精確地對齊。自動維護提供靈活可靠的在線成像。ASML PAS 5000/50可實現低至0.25 µm的圖像分辨率,而最大級加速度為4.5 m/s ²確保高吞吐量。可以在晶片步進器上添加可選的功能，如自動晶片清洗工具、自動晶片切片工具和BOZR超分辨率選項，以改善對比度和減少噪音。總體而言,ASML PAS 5000/50為半導體器件的制造提供了先進可靠的晶圓成像解決方案。對於尋求先進、高性能晶圓步進模型的研究人員和制造商來說，這是一個極好的選擇。