二手 ASML PAS 5000 / 50 #9235094 待售

ASML PAS 5000/50是一種專用且高度先進的設備，用於集成電路的生產。它是一種先進的步進設備，設計用於在制造過程中提供高分辨率晶片陣列。ASML PAS 5000/50在25mm的高吞吐量範圍內提供0.5微米的驚人精度。該系統由一個光刻級、一個真空曝光室和一個具有集成運動控制器的高度精確級組成。運動控制器負責協調舞臺的運動，以確保模式放置和分辨率的最高精度。曝光室提供了一個真空環境，在其中對晶片表面進行圖樣曝光。光刻階段具有自動化的加載、對準、曝光和卸載功能，以方便高效的吞吐量。PAS 5000/50的主要特點是其先進的曝光技術，利用大功率可見光源和光學器件，以及液體離子抵抗光學器件技術。這一特性提高了成像過程的分辨率，允許芯片制造商使用廣泛的光敏配方，允許制造更復雜的圖樣。PAS 5000/50的設計允許用戶將其輕松集成到他們現有的系統和流程中。它被設計為與用戶過程控制系統緊密集成，允許自動校準和晶圓處理。該設備還提供過程控制功能,例如溫度管理、曝光和後塗層工藝。ASML PAS 5000/50憑借其先進的功能和技術,為芯片生產提供了強大的未來。這臺機器提供快速、準確的模式放置，在生產和生產過程中都是高效的。高精度和靈活性使其成為各種芯片制造工藝的理想選擇。這個工具是一個完美的除了任何芯片制造商處理線。