二手 ASML PAS 5000 / 55 #293586475 待售

ASML PAS 5000/55是為生產半導體晶片而設計的最先進的晶片步進設備。由半導體設備領域的領導者ASML開發的PAS 5000/55提供了無與倫比的速度和精度。ASML PAS 5000/55系統中包含的步進器由一個自動光學引擎組成，它允許通過8英寸晶圓進行光刻。電動運動控制系統允許最大精度，確保晶片在高速下保持相同的環狀形狀和表面質量。此外，亞微米定位提供比傳統步進更精細的分辨率。PAS 5000/55專門設計用於封裝IC,如DRAM、SRAM、Flash和ASIC。為確保生產的一致性和可靠性,設備配備了兩個線性軸,允許X/Y工作參數,並采用多種曝光方法。ASML PAS 5000/55還具有動態聚焦功能,可調整掃描的焦點以獲得最佳精度和性能。此功能有助於減少生產過程中常見的缺陷數量,也有助於加快生產時間。該機器由先進的數字控制板提供動力，能夠精確控制從曝光到圖像開發的所有生產步驟。控制板還允許高達12MUX的快速處理速度，以及每個時鐘周期2.13微米的掃描速率。最後，PAS 5000/55配備了高度先進的軟件，使工程師和操作員能夠以極高的精確度和輕松度控制和監控每個生產步驟。該軟件還允許對工具進行快速故障排除和維護,從而使設置和維護變得輕而易舉。