二手 ASML PAS 5000 / 55 #9068441 待售

ASML PAS 5000/55晶片步進器是一種先進的光刻設備，用於半導體器件的制造。它是一種精密成像裝置，能夠在半導體晶片上產生具有亞像素精度的圖樣。該機采用專有的Synchroscope對準系統，這是一種獨特的技術，它結合了CCD相機拍攝的多個圖像的對準和掃描電子顯微鏡，可以精確覆蓋多個圖像。PAS 5000/55利用高NA（數值孔徑）投影單元，使機器能夠產生特征尺寸較小的圖案。此外,該工具還具有管理和優化曝光過程的自動化資產,可確保從設計到生產的精確成像。該模型還能夠重叠曝光，從而允許更快的生產時間和更高效的半導體器件生產。ASML PAS 5000/55還融合了多種先進的光刻特性，包括晶圓對準和圖像選擇。該機可配置為使用暗場照明或明場照明，並配有全方位透鏡和光圈面罩。該設備可編程為對晶片進行對準，並包括激光自動對焦系統，以確保精確和精確的成像。該單元可處理多種晶圓尺寸，從2英寸到300毫米，可用於單面和雙面處理。該機器還具有內置的監控機器，包括檢查和計量功能，以及自動標記工具，有助於確保基板和面罩之間的對齊。封裝中還包括一個在線檢查資產，允許快速晶圓校正和模式識別。PAS 5000/55晶圓步進器是一種用於半導體制造的可靠、可靠且先進的光刻模型。它為各種尺寸的設備提供了精確和可重復的光刻結果，並旨在提供高生產率和提高產量。該設備適用於小型和大型生產運行，從原型到大批量制造。