二手 ASML PAS 5000 / 55 #9241173 待售

ASML PAS 5000/55是晶圓步進器，專為生產集成電路而設計。用於光刻，半導體制造過程中的重要一步。該設備能夠產生優越的微量元件產量，標準生產周期時間剛好超過一分鐘。PAS 5000/55使用可編程運動控制器快速定位和對齊兩臺高分辨率投影儀，使用數字編程模式將半導體晶圓的區域共同暴露於光。這種操作被稱為步進，涉及在整個半導體晶圓上投射具有納米級精度的多個重叠曝光模式。其獲得專利的PAS E+輕型引擎體系結構使ASML PAS 5000/55能夠在其板載內存中存儲多達四種曝光模式,並在單個曝光周期內按順序執行這些模式。這大大減少了完成整個光刻工藝所需的時間,並允許制造商通過提高吞吐量來降低生產成本。PAS 5000/55還能夠進行多層曝光，允許生產更復雜的集成電路。該系統能夠在閃存、高速邏輯電路、DRAM和動態隨機存取存儲器等領域進行曝光操作。ASML PAS 5000/55可以處理的晶片尺寸在直徑6到12英寸之間變化,具體取決於設備的配置。其規格還包括0.1納米的階梯行程分辨率、0.5%的降壓精度、0.2納米的重復性和0.7納米的反沖誤差減小（BER）。PAS 5000/55配備了一系列安全功能，以確保其運行安全，並且其生產的集成電路質量最高。這些包括自動聯鎖系統、自動聚焦和對準系統、連續測量的標記位置和檢查參數，以及Auto-FPR反饋控制以保持最佳成像條件。ASML PAS 5000/55是一款用於半導體光刻的最先進的機器，適用於需要優越微元件產量和減少生產時間的工廠。它是一種可靠、用戶友好的工具，在半導體行業中越來越普遍。