二手 ASML PAS 5000 / 55 #9245465 待售

ASML PAS 5000/55是一種最先進的晶圓步進設備,旨在使集成電路的生產自動化。該系統利用掃描電子顯微鏡檢查和定位晶片上的特征之前和之後的光刻膠薄膜。它可以實現步進元件的精確位置對齊,並且可以對光掩碼進行並行測試。PAS 5000/55由一臺大型計算機和幾個軟件、硬件和光學組件組成。該單元包括一個「掩模對齊表」,用於精確定位光掩模相對於晶圓的位置,以實現精確的特征成像。還包括一對配有激光幹涉儀的曝光頭，以對準光學元件，確保曝光時的最佳對準。此外,ASML PAS 5000/55還配備了掃描電子顯微鏡（SEM）頭,該頭具有一個在工藝前後檢查和定位晶片的階段。該機的軟件套件設計為整合所有元件，可以獨立於主機電腦運作。PAS 5000/55配備了先進的空氣軸承工具，設計為能夠在大氣或真空環境中運行。該資產利用專門的光學模型來指導和控制各種光學元件，確保對準和成像的準確性。將光掩碼放置在連接到兩個主曝光頭的特殊適配器上。設備中還包括一對隔振元件，從而實現最大的圖像穩定性。ASML PAS 5000/55具有多種光掩碼和晶圓尺寸,能夠容納300 mm晶圓的生產。工具中集成的傳感器可實現實時調整和過程監控,使其能夠準確提高晶片之間的過程穩定性,從而實現一致的性能。利用PAS 5000/55,用戶能夠實現高精度的集成電路成像。該系統速度快、效率高，其軟件和硬件組件旨在確保設備的可靠運行，並確保該過程產生一致、準確的結果。