二手 ASML PAS 5000 / 55 #9300741 待售

ASML PAS 5000/55是一種高度精確的晶圓步進器，用於生產基於晶圓的微電子電路。這臺機器能夠在各種微型制造技術中高精度地掩蔽底層。它采用了先進的光刻設備，利用來自等離子體放電的極端紫外線（EUV）光在晶片上曝光圖樣光。PAS 5000/55提供了極佳的模式分辨率,幾乎沒有失真,使其能夠產生非常小的結構並具有高產率。光刻系統利用鏡面光學將EUV光投射到安裝在步進器中的標線上。機器以高達30 kHz的頻率掃描標線，以便在晶圓上產生精確的圖樣。該單元的光學元件具有0.9的極高數值孔徑，以確保最高的圖樣分辨率。處理器控件接受來自外部的輸入，如來自預對齊器的位置數據、速度和加速度數據，以及標線數據，如每次拍攝的重復次數、圖案線寬度和X射線設置。步進器用軟件編程，控制激光功率、劑量率和拍攝次數。激光的脈沖重復率高達4 MHz，磁場直徑高達200 mm。步進器還能夠實現高達20米/秒的高曝光速度,從而實現更高的吞吐量。ASML PAS 5000/55具有多種安全特性和傳感器，以確保操作員和機器的安全。這臺機器能夠在許多不同的環境條件下工作.這包括溫度、濕度和振動傳感器等功能,以提醒操作員註意任何潛在的汙染。PAS 5000/55是芯片生產的絕佳選擇。它可靠、準確，能夠高效生產復雜的結構。此外,它具有成本效益,並以最小的失真提供出色的模式分辨率,從而允許更高的產量和更少的重新制造周期。