二手 ASML PAS 5000 / 55A #293647910 待售

ASML PAS 5000/ 55A是一種用於半導體光刻的浸入式光學晶片步進器。它能夠在167 mm曝光場生產分辨率低於225 nm的半導體器件。ASML PAS 5000/55 A采用ASML IntelliWafer技術,使用戶能夠減少周期時間,減少晶圓斷裂,提高質量和生產率。PAS 5000/55A的總成像面積直徑約為16.3英寸（414毫米）,能夠產生分辨率低至225納米的圖樣。該系統采用先進的計算機控制的紫外線光源，提供了廣泛的曝光設置，以適應不同的生產要求。該系統還提供了一些高級功能,使用戶能夠高效地進行高效曝光。Intellitrace是PAS 5000/55 A的一個特性，自動調整每次曝光的焦點位置。ProFlex功能允許用戶在晶圓表面上編程一個圖樣方向，從而方便地將較大比例的圖樣轉換為較小的圖樣。晶片的對齊方式也隨此特性而改善。ASML PAS 5000/ 55A還為開發人員提供了一個用戶友好的編程環境，易於學習和操作。由於該系統可使用多種計算機語言,因此用戶可以為這些設備的陣列設計自己的配方。用戶友好的圖形界面允許用戶快速、輕松地進行更正，而無需專業程序員。由於增強的特性和性能,ASML PAS 5000/55 A成為市場上功能最強大、最可靠的晶圓步進器之一。其高分辨率、精確的對齊和可重復性使其適合各種生產要求。它的可編程環境還允許將數據集從較大維度轉換為較小維度。使其適合大型和小型項目。