二手 ASML PAS 5000 / 55A #293817881 待售

ASML PAS 5000/ 55A是一種晶圓步進器，用於制造半導體晶圓上的集成電路。這是一個高端的光刻機采用了「overscan」/「下劃線」技術和廣泛的先進功能，以產生最佳的圖像質量。ASML PAS 5000/55 A采用了一種包含固定雙軸級設備的步進重復光刻方法。它具有高速定位機構,最大總速度為500 mm/s,可實現大幅面主板對準精度。它還配備了高分辨率的光學定位系統，能夠分辨率為0.1微米，精度為0.5微米。PAS 5000/ 55A具有架空等離子體或四能量源,非常適合掩蔽和暴露。它具有較低的熱預算，以確保最佳溫度的曝光過程。架空光學單元還具有廣泛的可調參數，同時設置輸入和輸出功率電平，以優化嵌入式層的分辨率和均勻性。在光學方面，PAS 5000/55 A裝有伸縮光學機器和高分辨率光學器件和透鏡，能夠成像高達0.7微米。它還包括一個激光幹涉儀工具，用於條紋圖樣測量，改善資產的固有線性，並實現精確的對準定位。ASML PAS 5000/ 55A由一個強大的氙氣照明源和優化的光學陣列組成。它還配備了通用的蒙版寫入器和自動曝光優化系統。最後,提供了一個用於控制和管理機器的直觀軟件包。總體而言,ASML PAS 5000/55 A是一種高效、高性能的晶圓步進器,提供最先進的光刻技術和先進的模型體系結構。它能夠滿足先進級半導體工藝的要求，對於前沿集成電路的生產至關重要。